СІНГАПУР – У високозахищеній лабораторії в Шеньчжені китайські вчені створили те, що Вашингтон роками намагався запобігти: прототип машини, здатної виробляти найсучасніші напівпровідникові чипи, які живлять штучний інтелект, смартфони та зброю, центральну для західного військового домінування, повідомляє Reuters.
Завершений на початку 2025 року і зараз проходить тестування, прототип займає майже весь заводський цех. Його створила команда колишніх інженерів голландського напівпровідникового гіганта ASML, які здійснили зворотну розробку екстремальних ультрафіолетових літографічних машин компанії або EUV, за словами двох людей, обізнаних з проєктом.
EUV-машини знаходяться в центрі технологічної холодної війни. Вони використовують промені екстремального ультрафіолетового світла для травлення схем, у тисячі разів тонших за людський волос, на кремнієві пластини, що наразі є можливістю, монополізованою Заходом. Чим менші схеми, тим потужніші чипи.
Китайська машина є операційною і успішно генерує екстремальне ультрафіолетове світло, але ще не виробила робочих чипів, сказали люди.
У квітні генеральний директор ASML Крістоф Фуке заявив, що Китаю знадобиться "багато-багато років" для розробки такої технології. Але існування цього прототипу, про який Reuters повідомляє вперше, свідчить про те, що Китай може бути на роки ближче до досягнення напівпровідникової незалежності, ніж передбачали аналітики.
Тим не менш, Китай все ще стикається з серйозними технічними викликами, особливо у відтворенні прецизійних оптичних систем, які виробляють західні постачальники.
Доступність деталей від старих машин ASML на вторинних ринках дозволила Китаю створити вітчизняний прототип, а уряд поставив мету виробництва робочих чипів на прототипі до 2028 року, за словами двох людей.
Але ті, хто близький до проєкту, кажуть, що більш реалістичною є ціль 2030 року, що все ще на роки раніше, ніж десятиліття, яке, на думку аналітиків, знадобиться Китаю, щоб зрівнятися із Заходом у виробництві чипів.
Китайська влада не відповіла на запити про коментарі.
Прорив знаменує собою кульмінацію шестирічної урядової ініціативи щодо досягнення напівпровідникової самодостатності, одного з найвищих пріоритетів президента Сі Цзіньпіна. Хоча напівпровідникові цілі Китаю були публічними, проєкт EUV у Шеньчжені проводився в таємниці, за словами людей.
Проєкт підпадає під національну напівпровідникову стратегію країни, яку, за повідомленнями державних ЗМІ, очолює довірена особа Сі Цзіньпіна Дін Сюесян, який очолює Центральну комісію з науки і технологій Комуністичної партії.
Китайський електронний гігант Huawei відіграє ключову роль у координації мережі компаній і державних науково-дослідних інститутів по всій країні, залучаючи тисячі інженерів, за словами двох людей і третього джерела.
Люди описали це як китайську версію Манхеттенського проєкту, воєнних зусиль США з розробки атомної бомби.
"Мета полягає в тому, щоб Китай зрештою зміг виробляти передові чипи на машинах, повністю виготовлених у Китаї", - сказала одна з людей. "Китай хоче на 100% вигнати Сполучені Штати зі своїх ланцюгів постачання".
Huawei, Державна рада Китаю, китайське посольство у Вашингтоні та Міністерство промисловості та інформаційних технологій Китаю не відповіли на запити про коментарі.
До цього часу лише одна компанія освоїла технологію EUV: ASML зі штаб-квартирою у Велдховені, Нідерланди. Її машини, які коштують близько 250 мільйонів доларів, є незамінними для виробництва найбільш передових чипів, розроблених такими компаніями, як Nvidia та AMD - і виготовлених виробниками чипів, такими як TSMC, Intel та Samsung.
ASML створила свій перший робочий прототип технології EUV у 2001 році і повідомила Reuters, що знадобилося майже два десятиліття та мільярди євро витрат на дослідження та розробки, перш ніж вона випустила свої перші комерційно доступні чипи у 2019 році.
"Має сенс, що компанії хочуть відтворити нашу технологію, але зробити це - не простий подвиг", - заявила ASML Reuters у заяві.
Системи EUV від ASML наразі доступні союзникам США, включаючи Тайвань, Південну Корею та Японію.
Починаючи з 2018 року, Сполучені Штати почали тиснути на Нідерланди, щоб заблокувати ASML від продажу систем EUV Китаю. Обмеження розширилися у 2022 році, коли адміністрація Байдена запровадила масштабні експортні обмеження, розроблені для відсікання доступу Китаю до передової напівпровідникової технології. Жодна система EUV ніколи не була продана клієнту в Китаї, повідомила ASML Reuters.
Контроль був спрямований не лише на системи EUV, але й на старіші машини глибокої ультрафіолетової (DUV) літографії, які виробляють менш передові чипи, як у Huawei, маючи на меті утримувати Китай принаймні на покоління позаду у можливостях виробництва чипів.
Державний департамент США заявив, що адміністрація Трампа посилила виконання експортного контролю на передове обладнання для виробництва напівпровідників і працює з партнерами "щоб закрити лазівки в міру розвитку технологій".
Міністерство оборони Нідерландів заявило, що Нідерланди розробляють політику, яка вимагає від "наукових установ" проводити перевірку персоналу, щоб запобігти доступу до чутливих технологій "з боку осіб, які мають погані наміри або які піддаються ризику тиску".
Експортні обмеження уповільнили прогрес Китаю до напівпровідникової самодостатності протягом років і обмежили виробництво передових чипів у Huawei, сказали дві людини та третя особа.
Джерела говорили за умови, що їх не ідентифікуватимуть через конфіденційність проєкту.
Один досвідчений китайський інженер з ASML, залучений до проєкту, був здивований, коли виявив, що його щедрий бонус при підписанні контракту супроводжувався посвідченням особи, виданим на фальшиве ім'я, за словами однієї з людей, яка знала про його наймання.
Опинившись всередині, він впізнав інших колишніх колег по ASML, які також працювали під псевдонімами, і йому було доручено використовувати їхні фальшиві імена на роботі для підтримання таємниці, сказала людина. Інша людина незалежно підтвердила, що новобранцям видали фальшиві посвідчення особи, щоб приховати їхню особу від інших працівників всередині захищеного об'єкта.
Інструкції були чіткими, сказали дві людини: класифіковано під національною безпекою, ніхто поза комплексом не міг знати, що вони будують - або що вони там взагалі є.
Команда включає нещодавно вийшлих на пенсію колишніх інженерів і вчених ASML китайського походження - першочергових цілей для набору, оскільки вони володіють конфіденційними технічними знаннями, але стикаються з меншими професійними обмеженнями після виходу з компанії, сказали люди.
Двоє нинішніх працівників ASML китайської національності в Нідерландах повідомили Reuters, що до них звертались рекрутери з Huawei принаймні з 2020 року.
Huawei не відповіла на запити про коментарі.
Європейські закони про конфіденційність обмежують можливість ASML відстежувати колишніх співробітників. Хоча співробітники підписують угоди про нерозголошення, забезпечення їх виконання через кордони виявилося складним.
ASML виграла судове рішення на 845 мільйонів доларів у 2019 році проти колишнього китайського інженера, звинуваченого у крадіжці комерційних таємниць, але відповідач подав заяву про банкрутство і продовжує працювати в Пекіні за підтримки китайського уряду, згідно з судовими документами.
ASML повідомила Reuters, що вона "пильно охороняє" комерційні таємниці та конфіденційну інформацію.
"Хоча ASML не може контролювати або обмежувати те, де працюють колишні співробітники, всі співробітники зобов'язані дотримуватися положень про конфіденційність у своїх контрактах", - заявила компанія, і вона "успішно переслідувала судовими засобами у відповідь на крадіжку комерційних таємниць".
Reuters не вдалося визначити, чи були вжиті будь-які правові заходи проти колишніх працівників ASML, залучених до літографічної програми Китаю.
Компанія заявила, що захищає знання про EUV, забезпечуючи доступ до інформації лише вибраним співробітникам навіть усередині компанії.
Нідерландська розвідка попередила у квітневому звіті, що Китай "використовував масштабні програми шпигунства у своїх спробах отримати передові технології та знання із західних країн", включаючи наймання "західних учених і співробітників високотехнологічних компаній".
Ветерани ASML зробили прорив у Шеньчжені можливим, сказали люди. Без їхнього глибокого знання технології зворотна розробка машин була б майже неможливою.
Їхнє наймання було частиною агресивної кампанії, яку Китай розпочав у 2019 році для напівпровідникових експертів, які працюють за кордоном, пропонуючи бонуси при підписанні контракту від 3 до 5 мільйонів юанів (від 420 000 до 700 000 доларів) і субсидії на купівлю житла, згідно з оглядом урядових політичних документів Reuters.
Серед рекрутів був Лінь Нань, колишній керівник технології джерел світла ASML, чия команда в Шанхайському інституті оптики Китайської академії наук подала вісім патентів на джерела світла EUV за 18 місяців, згідно з патентними заявками.
Шанхайський інститут оптики та точної механіки не відповів на запити про коментарі. Лінь не вдалося зв'язатися для коментарів.
Дві додаткові людини, знайомі з зусиллями Китаю щодо найму, заявили, що деяким натуралізованим громадянам інших країн видали китайські паспорти і дозволили зберегти подвійне громадянство.
Китай офіційно забороняє подвійне громадянство і не відповів на запитання про видачу паспортів.
Китайська влада не відповіла на запити про коментарі.
Найбільш передові системи EUV від ASML приблизно розміром зі шкільний автобус і важать 180 тонн. Після невдалих спроб відтворити його розмір прототип усередині шеньчженської лабораторії став у багато разів більшим для покращення потужності, за словами двох людей.
Китайський прототип є грубим порівняно з машинами ASML, але достатньо функціональним для тестування, сказали люди.
Прототип Китаю відстає від машин ASML значною мірою через те, що дослідники намагалися отримати оптичні системи, подібні до тих, що виробляє німецька Carl Zeiss AG, один із ключових постачальників ASML, сказали дві людини.
Zeiss відмовилася коментувати.
Машини випускають лазери по розплавленому олову 50 000 разів на секунду, генеруючи плазму при температурі 200 000 градусів Цельсія. Світло фокусується за допомогою дзеркал, виробництво яких займає місяці, згідно з веб-сайтом Zeiss.
Провідні науково-дослідні інститути Китаю відіграли ключову роль у розробці вітчизняних альтернатив, за словами двох людей.
Чанчунський інститут оптики, точної механіки та фізики Китайської академії наук (CIOMP) досяг прориву в інтеграції екстремально-ультрафіолетового світла в оптичну систему прототипу, що дозволило йому стати операційним на початку 2025 року, сказала одна з людей, хоча оптика все ще потребує значного вдосконалення.
CIOMP не відповів на запити про коментарі.
У березневому онлайн-запрошенні до набору на своєму веб-сайті інститут заявив, що пропонує зарплати "без обмежень" дослідникам літографії з докторським ступенем та дослідницькі гранти на суму до 4 мільйонів юанів (560 000 доларів) плюс 1 мільйон юанів (140 000 доларів) особистих субсидій.
Джефф Кох, аналітик дослідницької фірми SemiAnalysis і колишній інженер ASML, сказав, що Китай досягне "значного прогресу", якщо "джерело світла має достатню потужність, є надійним і не генерує занадто багато забруднення".
"Безсумнівно, це технічно здійсненно, питання лише в термінах", - сказав він. "Китай має перевагу в тому, що комерційний EUV тепер існує, тому вони не починають з нуля".
Щоб отримати необхідні деталі, Китай рятує компоненти зі старих машин ASML та закуповує деталі у постачальників ASML через вторинні ринки, сказали дві людини.
Мережі компаній-посередників іноді використовуються для маскування остаточного покупця, сказали люди.
Для прототипу використовуються компоненти з обмеженням на експорт від японських Nikon та Canon, сказали одна з людей та додаткове джерело.
Nikon відмовилася коментувати. Canon заявила, що не знала про такі звіти. Японське посольство у Вашингтоні не відповіло на запит про коментарі.
Міжнародні банки регулярно проводять аукціони старого напівпровідникового виробничого обладнання, сказали джерела. Аукціони в Китаї продавали старе літографічне обладнання ASML ще у жовтні 2025 року, згідно з оглядом списків на Alibaba Auction, платформі, що належить Alibaba.
Команда з близько 100 недавніх випускників університетів зосереджена на зворотній розробці компонентів як з EUV, так і з DUV літографічних машин, за словами людей.
Стіл кожного працівника знімається окремою камерою для документування їхніх зусиль з розбирання та збирання деталей - робота, яку люди описали як ключову для літографічних зусиль Китаю.
Співробітники, які успішно збирають компонент, отримують бонуси, сказали люди.
Хоча проєкт EUV керується китайським урядом, Huawei бере участь у кожному етапі ланцюга постачання від дизайну чипів та обладнання для виготовлення до виробництва та остаточної інтеграції в продукти, такі як смартфони, за словами чотирьох людей, знайомих з операціями Huawei.
Генеральний директор Рен Чжeнфей інформує старших китайських лідерів про прогрес, за словами однієї з людей.
США помістили Huawei до списку організацій у 2019 році, забороняючи американським компаніям вести з ними бізнес без ліцензії.
Huawei розгорнула співробітників в офісах, виробничих підприємствах і науково-дослідних центрах по всій країні для цих зусиль. Співробітники, призначені до напівпровідникових команд, часто ночують на місці і їм заборонено повертатися додому протягом робочого тижня, з обмеженим доступом до телефону для команд, які працюють з більш конфіденційними завданнями, за словами людей.
Усередині Huawei небагато співробітників знають масштаби цієї роботи. "Команди тримаються ізольованими одна від одної для захисту конфіденційності проєкту", - сказала одна з людей. "Вони не знають, над чим працюють інші команди". – Rappler.com


